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名称规格价格范围均价涨跌单位时间
P-MOS级 6英寸碳化硅导电型衬底4H n-type Nitrogen 偏<11-20>4±0.15 电阻率0.016~0.024ohm·cm LTV≤2μm(10mm*10mm) TTV≤5μm Bow -15μm~15μm Warp≤20μm 微管密度<0.15ea/cm2310045003800-350元/片09-27
P-SBD级 6英寸碳化硅导电型衬底4H n-type Nitrogen 偏<11-20>4±0.15 电阻率0.015~0.025 ohm·cm LTV≤3μm(5mm*5mm) TTV≤6μm Bow -25~25μm Warp≤35μm 微管密度<5ea/cm2210031002600-400元/片09-27
D级 6英寸碳化硅导电型衬底4H n-type Nitrogen 偏<11-20>4±0.15 电阻率0.015~0.028 ohm·cm LTV≤10μm(5mm*5mm) TTV≤15μm Bow-45~45μm Warp≤60μm 微管密度<15ea/cm280015001150-150元/片09-27
P-MOS级 8英寸碳化硅导电型衬底4H n-type Nitrogen 偏<11-20>4±0.15º 电阻率0.016~0.024ohm·cm LTV≤3μm(10mm*10mm) TTV≤7μm Bow -20μm~20μm Warp≤30μm 110001200011500-500元/片09-27
P-SBD级 8英寸碳化硅导电型衬底4H n-type Nitrogen 偏<11-20>4±0.15º 电阻率0.015~0.025 ohm·cm LTV≤5μm(10mm*10mm) TTV≤10μm Bow -25~25μm Warp≤35μm8500100009250-750元/片09-27
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